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主要商品 / 服務項目

  • 靜電吸盤(E-Chuck, ESC) 檢測、ESC維修(ESC repair)與銷售。
  • 半導體製程設備關鍵零組件之檢測、維修與銷售。
  • ESC/RPS陽極/再生/維修。
  • Generator/Controller/Power Repairing。

靜電吸盤產品資訊  E-Chuck - Electrostatic Chuck