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主要商品 / 服務項目

  • 靜電吸盤（E-Chuck / ESC）
    ESC 檢測、維修（ESC Repair）與產品銷售
  • 半導體製程設備關鍵零組件
    檢測、維修與銷售服務
  • ESC / RPS 陽極
    再生、維修與技術支援
  • Generator / Controller / Power
    設備維修與功能修復（Repairing Service）
  • 靜電吸盤產品資訊
    E-Chuck – Electrostatic Chuck
主要商品與服務示意圖